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第11部分

條件不斷變化包括熔體的對流、熱傳輸、固液介面形狀等,即整個晶棒從頭到尾經歷不同的受熱狀況,頭部受熱時間最長,尾部最短,這樣肯定會造成晶體軸向、徑向雜質分佈不均勻。

同時在直拉法中,氧含量及其分佈是非常重要,但是氧含量又是難以控制的引數,這主要是熔體中的熱對流加劇了熔融矽與石英坩鍋的作用,即坩鍋中的o2、b、al等雜質易於進入熔體和晶體,最後就造成了出爐的單晶矽棒雜質含量過高。”

產生的問題這對於姚飛來說壓根就沒什麼好隱瞞的,解決產生問題的技術才是關鍵,接著他又將傳統的單晶矽直拉生產技術中容易出現的問題跟布雷迪大致介紹了一遍。

“那姚先生所說的磁控直拉技術便是針對這方面的改進?”

布雷迪這個時候哪有平時那副全能全知的教授氣度,完全是個懵懂的小學生,正一臉滿懷期待的表情等待著姚飛的回答。

“不錯,磁控直拉生長技術便是對傳統的直拉生長技術的改進,此技術改進減少了熔體中的溫度波度。

目前直拉法中固液介面附近熔體中的溫度波動可以達到10c以上,而如果施加一個0。2t的磁場,那這個溫度波動就會小於1c。

這樣可以明顯提高晶體中雜質分佈的均勻xing,同時晶體的徑向電阻分佈均勻xing也可以得到提高;

這樣一來,就可以降低單晶中的缺陷密度,減少雜質的進入,也就提高了晶體的純度。

這是由於在磁場作用下,熔融矽與坩鍋的作用減弱,使坩鍋中的雜質較少進入熔體和晶體。

將磁場強度與晶體轉動、坩鍋轉動等工藝引數結合起來,可有效控制晶體中氧濃度的變化;由於磁粘滯xing,使擴散層厚度增大,可提高雜質縱向分佈均勻xing;有利於提高生產率。

採用磁控直拉技術,如用水平磁場,當生長速度為一般直拉法兩倍時,仍可得到質量較高的晶體,對於大規模批次生產簡直就是福音。”

對於這個磁控直拉技術,姚飛也沒有藏私,將改進方法和一些改進引數告訴了布雷迪……

第 027 章 真的成功了

“原來是這麼回事,那連續生長技術呢,是不是連續往裡面加料以減少石英坩堝的更換率?”

一通百通,布雷迪做了這麼長時間的研究,腦子裡也是有貨的,現在也轉開了。

“教授,你說的有一定的道理,連續生長技術,它確實是為了提高生產效率和節省坩堝,但是這其中又分為重新裝料和連續加料這兩種技術。

重新裝料技術可以節約生長完畢後降溫、開爐和裝爐等工序,節約大量的時間,實現一個石英坩堝多次使用,眾所周知石英坩堝可是晶體生產成本中所佔比例最大的,節省石英坩堝的使用量就等於是提高經濟效益,降低成本。

而連續加料則是一種更為先進的技術,這種技術除了具有重新裝料的優點外,還可保持整個生長過程中晶體熔體的體積恆定,提高基本穩定的生長條件,因而開爐後可得到電阻率縱向分佈均勻的單晶。

連續加料直拉生長技術還有兩種加料法:連續固體送料和連續液體送料法,這些以後我再為教授慢慢介紹……”

技術說到這裡也差不多了,看眼下這情況布雷迪的心思也已經是完全被**了,剩下不就是搞定他,讓他為自己效命了,麼。

“不管怎麼說,姚先生,真是太感謝了,從今天起,我們就是朋友了,對於朋友,以後有需要幫忙的,請儘管說……”

布雷迪聽了姚飛的解答,之前一直困擾著他的許多技術難題頓時就有了許多種方案,�